應用

l  負載鎖定

l  轉換

l  計量

l  平版印刷

l  PVD制程

l  PVD預清潔

l  RTA

l  剝離/灰化

l  刻蝕

l  植入源

l  HDP CVD

l  RTP

l  SACVD

l  MCVD

l  PECVD

l  LPCVD

l  ALD

功能與優勢

l  優化了設施消耗

l  無需預防性維護

l  懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理

l  在節省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的CVD應用條件下的穩定性

l  耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體

l  較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證

l  軸桿一體化設計無需電機聯軸器，第五抽排級免除對消音器的需求，也避免了顆粒堆積，兩者均減少了總體占地空間

泵系列

實踐證明，Edwards高級半導體真空泵能夠達到最高運行標準。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。

iH系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的PECVD和LPCVD制程）提供了高可靠性。

·        iH80

·        iH160

·        iH600

·        iH1000

·        iH1800

·        iH1800HTX